1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: 202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Description: L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
Identifiant de la procédure: 5c187b65-85a4-4984-a680-53a1c594f757
Avis précédent: 101185-2025
Identifiant interne: 202501100951
Type de procédure: Ouverte
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 22520000 Matériel de gravure sèche
2.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: IEMN Avenue Poincaré, Cité Scientifique
Ville: Villeneuve d'Ascq Cedex
Code postal: 59652
Subdivision pays (NUTS): Nord (FRE11)
Pays: France
Informations complémentaires: Aucune caution, ni garantie ne sont exigées. Prix ferme. Paiement à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Paiement par acompte et règlement partiel définitif selon les modalités décrites à l'article 9.4.1 du CCAP. Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique.
2.1.3.
Valeur
Valeur estimée hors TVA: 750 000,00 EUR
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: Marché à tranches. Des PSE facultatives sont demandées.
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Description: L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
Identifiant interne: 202501100951
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 22520000 Matériel de gravure sèche
Options:
Description des options: Tranche optionnelle n°1: Bâti RIE_2 Des PSE sont demandées : - PSE n°1 (facultative) : Un (1) système de suivi de gravure du type OES - PSE n°2 (facultative) : Deux (2) systèmes de suivi de gravure du type OES - PSE n°3 (facultative) : Un (1) kit de consommable en spare - PSE n°4 (facultative) : Deux (2) kits de consommable en spare
5.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: IEMN Avenue Poincaré Cité Scientifique
Ville: Villeneuve d'Ascq Cedex
Code postal: 59652
Subdivision pays (NUTS): Nord (FRE11)
Pays: France
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 24 Mois
5.1.5.
Valeur
Valeur estimée hors TVA: 750 000,00 EUR
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Afin de prendre connaissance des contraintes relatives à l'exécution des prestations, les candidats peuvent visiter le site. Voir modalités de visite dans le RC.
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Prix
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 35,00
Critère:
Type: Qualité
Description: Valeur technique
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 40,00
Critère:
Type: Qualité
Description: Délais, installation et formation
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 10,00
Critère:
Type: Qualité
Description: Garantie, SAV et procédés
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 10,00
Critère:
Type: Qualité
Description: Valeur environnementale
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 5,00
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre: Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique: Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours: Tribunal administratif de Lille
Informations relatives aux délais de recours: Les recours susceptibles d’être introduits à l’encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d’introduction de ces recours figurent à la rubrique 5.1.12 de l’AAP (formulaire européen). La date de signature du marché est le 24.04.2025 et la date de notification du marché au titulaire est le 24.04.2025. Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Le contrat est consultable dans le respect des secrets protégés par la loi n°78-753 du 17 juillet 1978 codifiée dans le livre III du code des relations entre le public et l'administration, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1, après une demande écrite adressée par courriel ( dr18.liste.poleachats@cnrs.fr) au service financier et comptable de la délégation et uniquement sur prise de rendez-vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site.
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Tribunal administratif de Lille
Organisation qui signe le marché: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
6. Résultats
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis: 593 000,00 EUR
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0001
Statut sélection lauréat: Au moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les lauréats
Lauréat:
Nom officiel: PTS - PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS
Offre:
Identifiant de l’offre: Offre de PTS
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Valeur de l'offre: 593 000,00 EUR
L’offre a été classée: oui
Place sur la liste des lauréats: 1
Valeur de la concession:
L’offre est une variante: non
Sous-traitance: Non
Informations relatives au marché:
Identifiant du marché: 2029817 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Date à laquelle le lauréat a été choisi: 02/04/2025
Date de conclusion du marché: 24/04/2025
Information sur les fonds de l'Union européenne
Nom du projet ou programme financé par l’UE: Fonds européen de développement régional (FEDER) (2021/2027)
Identifiant des fonds de l’UE: Projet "FEDER F1 IMITECH"
Organisation qui signe le marché: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
6.1.4.
Informations statistiques:
Offres ou demandes de participation reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues: 2
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Numéro d’enregistrement: 180 089 013 03894
Département: Nord
Adresse postale: 43 avenue le Corbusier BP 30123
Ville: Lille Cedex
Code postal: 59001
Subdivision pays (NUTS): Nord (FRE11)
Pays: France
Point de contact: Pôle Achats et Marchés Publics
Téléphone: 0320125800
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui signe le marché
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: Tribunal administratif de Lille
Numéro d’enregistrement: 17590003400026
Adresse postale: 5 Rue Geoffroy Saint-Hilaire CS 6203
Ville: Lille
Code postal: 59000
Subdivision pays (NUTS): Nord (FRE11)
Pays: France
Téléphone: 0359542342
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: PTS - PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS
Taille de l’opérateur économique: Micro, petite ou moyenne
Numéro d’enregistrement: 39491752000048
Adresse postale: 23 rue Paul Héroult
Ville: VILLARD BONNOT
Code postal: 38190
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 0160931100
Rôles de cette organisation:
Soumissionnaire
Lauréat de ces lots: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Identifiant/version de l’avis: 983e514a-012b-4d8a-86c9-b460e484327b - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 25/04/2025 09:19:20 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 273583-2025
Numéro de publication au JO S: 82/2025
Date de publication: 28/04/2025
