1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture et installation d'un Instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur
Description: Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche de classe ISO 4. Il devra permettra la mesure automatisée de structures de tests de dimensions (100*100) µm² sur des plaquettes de silicium de diamètres 300 et 200 mm. Il devra disposer de trois sources de rayons X monochromatiques de manière à couvrir, a minima, une gamme spectrale comprise entre 1.5 keV et 5.4 keV. L’équipement devra respecter les contraintes inhérentes à une utilisation en salle blanche pour la métrologie de procédés FEOL (fiabilité, niveau de contamination, respect des normes SEMI). Le présent marché comporte les options suivantes: Option a chiffrage obligatoire : - Option 1 : Système de connexion compatible avec les cassettes (conteneurs) transportant les wafers sous vide page 4 du cahier des charges - Option 2 : Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (UPS), page 6 du cahier des charges - Option 3 : Inverse Photoelectron spectroscopy (IPES), page 6 du cahier des charges - Option 4 : Reflected Electron Energy Loss Scattering (REELS), page 6 du cahier des charges - Option 5 : Formation maintenance niveau 1, page 40 du cahier des charges - Option 6 : Formation maintenance avancée, page 40 du cahier des charges Options à chiffrage facultatif : - Option 7 : échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement, page 15 du cahier des charges - Option 8 : Transformateur électrique, page 27 du cahier des charges - Option 9 : 2ème année garantie page 40 du cahier des charges - Option 10 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant de la procédure: dd021363-3006-4c54-be7c-f6d4719e6500
Avis précédent: 477613-2024
Identifiant interne: B24-01733-SN
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA Grenoble - Conditions d’accès réglementées
2.1.4.
Informations générales
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture et installation d'un Instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur
Description: Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche de classe ISO 4. Il devra permettra la mesure automatisée de structures de tests de dimensions (100*100) µm² sur des plaquettes de silicium de diamètres 300 et 200 mm. Il devra disposer de trois sources de rayons X monochromatiques de manière à couvrir, a minima, une gamme spectrale comprise entre 1.5 keV et 5.4 keV. L’équipement devra respecter les contraintes inhérentes à une utilisation en salle blanche pour la métrologie de procédés FEOL (fiabilité, niveau de contamination, respect des normes SEMI).
Identifiant interne: B24-01733-SN
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés. Critères: Prix de l'équipement : 45% Performance technique de l’offre pour atteindre les performances de mesure, décrit au paragraphe 2 du cahier des charges: 30% Qualité matérielle et configuration hardware, décrit au paragraphe 3 du cahier des charges : 10% Compatibilité salle blanche (contamination, respect normes SEMI et CE), décrit aux paragraphes 3 et 4 du cahier des charges : 10% Présence de 3 sources monochromatiques: 5%
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères: Sans objet
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de médiation: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Organisation chargée des procédures de recours: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Informations relatives aux délais de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Organisation dont le budget est utilisé pour payer le marché: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui exécute le paiement: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui signe le marché: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
6. Résultats
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis: 1,00 EUR
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0001
Statut sélection lauréat: Au moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les lauréats
Lauréat:
Nom officiel: SPECS Surface Nano Analysis Gmbh
Offre:
Identifiant de l’offre: SPECS NANO ANALYSIS GMBH
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Valeur de l'offre: 1,00 EUR
Valeur de la concession:
Sous-traitance: Non
Informations relatives au marché:
Identifiant du marché: B24-01733-SN-
Date de conclusion du marché: 22/05/2025
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES - PILOT LINES
Organisation qui signe le marché: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
6.1.4.
Informations statistiques:
Offres ou demandes de participation reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues: 2
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Numéro d’enregistrement: 77568501900298
Adresse postale: 17 avenue des martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Sophie Nègre
Téléphone: +33 438786771
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui signe le marché
Organisation dont le budget est utilisé pour payer le marché
Organisation qui exécute le paiement
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Numéro d’enregistrement: 173800053
Adresse postale: 2 place de Verdun BP 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 0476429000
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
Organisation chargée des procédures de médiation
8.1.
ORG-0004
Nom officiel: SPECS Surface Nano Analysis Gmbh
Taille de l’opérateur économique: Moyenne
Numéro d’enregistrement: HRB 21390
Adresse postale: Voltastrasse 5
Ville: BERLIN
Code postal: 13355
Subdivision pays (NUTS): Berlin (DE300)
Pays: Allemagne
Rôles de cette organisation:
Soumissionnaire
Lauréat de ces lots: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Identifiant/version de l’avis: b55d0463-c18d-464a-89d8-2525e5e8d1e0 - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 26/05/2025 13:33:04 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 345063-2025
Numéro de publication au JO S: 102/2025
Date de publication: 28/05/2025
