1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Description: Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm. Le marché envisagé comprend les options à chiffrage obligatoire suivantes : - Option 1 : Chambre de gravure pour l’optimisation du contact, tel que décrit aux paragraphes 2.7 et 3.1.5 du cahier des charges. - Option 2 : Chambre de gravure pour le creux latéral (« lateral recess »), tel que décrit au paragraphe 2.8 et 3.1.8 du cahier des charges. - Option 3 : Connexion de l’équipement avec une boite sous-vide pour le transport de plaques, tel que décrit aux paragraphes 3.4 du cahier des charges. Il comprend également les options à chiffrage facultative suivantes : - Option 4 : Systèmes de pompages, tel que décrit au paragraphe 3.2.1 du cahier des charges. - Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges. - Option 6 : Transformateur électrique, tel que décrit au paragraphe 4.1.4 du cahier des charges). - Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 9 : Deuxième année de garantie, tel que décrit au paragraphe 11 du cahier des charges).
Identifiant de la procédure: 6d20ce5b-ce15-4b7e-a7a2-09726a987025
Identifiant interne: B25-00642-CMF
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/Grenoble, conditions d'accès réglementées.
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: La date du 10 avril 2025 indiquée dans le présent avis de marché correspond à la date limite de remise des candidatures, et non à la date limite de remise des offres. Les modalités de fixation de la date de remise des offres sont précisées dans le dossier de consultation.
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusion: Document de marché
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Description: Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm. Le marché envisagé comprend les options à chiffrage obligatoire suivantes : - Option 1 : Chambre de gravure pour l’optimisation du contact, tel que décrit aux paragraphes 2.7 et 3.1.5 du cahier des charges. - Option 2 : Chambre de gravure pour le creux latéral (« lateral recess »), tel que décrit au paragraphe 2.8 et 3.1.8 du cahier des charges. - Option 3 : Connexion de l’équipement avec une boite sous-vide pour le transport de plaques, tel que décrit aux paragraphes 3.4 du cahier des charges. Il comprend également les options à chiffrage facultative suivantes : - Option 4 : Systèmes de pompages, tel que décrit au paragraphe 3.2.1 du cahier des charges. - Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges. - Option 6 : Transformateur électrique, tel que décrit au paragraphe 4.1.4 du cahier des charges). - Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges). - Option 9 : Deuxième année de garantie, tel que décrit au paragraphe 11 du cahier des charges).
Identifiant interne: B25-00642-CMF
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée: La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES - PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B25-00642-CMF, qui est téléchargeable via le lien https://www.marchespublics.gouv.fr comme détaillé ci-dessous. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B25-00642-CMF Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marchespublics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : en qualité de membre de plusieurs groupements
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélection: Document de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes:
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure: 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11.
Documents de marché
Langues dans lesquelles les documents de marché sont officiellement disponibles: français
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de présentation:
Présentation par voie électronique: Requise
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées: français, anglais
Catalogue électronique: Non autorisée
Variantes: Autorisée
Date limite de réception des offres: 10/04/2025 12:00:00 (UTC+2)
Conditions du marché:
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés: Non
Facturation en ligne: Requise
La commande en ligne sera utilisée: non
Le paiement en ligne sera utilisé: non
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre: Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique: Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Informations relatives aux délais de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui reçoit les demandes de participation: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Numéro d’enregistrement: 775 685 019
Département: Isère
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Claire MOREAU-FLACHAT
Téléphone: 0438789943
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui reçoit les demandes de participation
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Identifiant/version de l’avis: 6e740ace-2d01-47aa-9b5a-c7fb58b777dc - 01
Type de formulaire: Mise en concurrence
Type d’avis: Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 16
Date d’envoi de l’avis: 05/03/2025 16:23:47 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 150499-2025
Numéro de publication au JO S: 47/2025
Date de publication: 07/03/2025
