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1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA/GRENOBLE
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
Description: Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’une piste de lithographie 248 nm. Cet équipement vise à être utilisé pour traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux implant et BEOL. Cet équipement est destiné à étaler, développer et cuire des résines photosensibles et des couches associées automatiquement. Il sera interfacé à un scanner 248 nm et devra intégrer les modules nécessaires pour les procédés de lithographie optique, et plus particulièrement l’usage d’un scanner KrF, développés par le CEA-Leti. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Logiciel pour l’écriture des recettes hors-ligne (§3.3.1) - Options avec chiffrage facultatif : o OPT2 : Module d’étalement de bord de plaque (§3.1.1) o OPT3 : Module de mesure de déformation et de bow des plaques) (§3.1.1) o OPT4 : Formation à la Maintenance de 1er niveau (§9) o OPT5 : Formation à la Maintenance avancée (§9) o OPT6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (§3.2.6) o OPT7 : Transformateur électrique (§4.1.4) o OPT8 : Deuxième année de garantie (§11.1)
Identifiant de la procédure: 0eebefb9-29c7-4dda-bb3a-a0418adbe155
Avis précédent: 679808-2024
Identifiant interne: PN-B24-04592-ST
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.3.
Valeur
Valeur estimée hors TVA: 1,00 EUR
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: Un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi. Les cases relatives au montant du marché ont été complétées par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
Description: Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’une piste de lithographie 248 nm. Cet équipement vise à être utilisé pour traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux implant et BEOL. Cet équipement est destiné à étaler, développer et cuire des résines photosensibles et des couches associées automatiquement. Il sera interfacé à un scanner 248 nm et devra intégrer les modules nécessaires pour les procédés de lithographie optique, et plus particulièrement l’usage d’un scanner KrF, développés par le CEA-Leti. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Logiciel pour l’écriture des recettes hors-ligne (§3.3.1) - Options avec chiffrage facultatif : o OPT2 : Module d’étalement de bord de plaque (§3.1.1) o OPT3 : Module de mesure de déformation et de bow des plaques) (§3.1.1) o OPT4 : Formation à la Maintenance de 1er niveau (§9) o OPT5 : Formation à la Maintenance avancée (§9) o OPT6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (§3.2.6) o OPT7 : Transformateur électrique (§4.1.4) o OPT8 : Deuxième année de garantie (§11.1)
Identifiant interne: PN-B24-04592-ST
5.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: La valeur "1,00" est uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recours: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché: CEA/GRENOBLE
Organisation dont le budget est utilisé pour payer le marché: CEA/GRENOBLE
Organisation qui exécute le paiement: CEA/GRENOBLE
Organisation qui signe le contrat: CEA/GRENOBLE
6. Résultats
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis: 1,00 EUR
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0001
Statut sélection adjudicataire/attributaire: Au moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les adjudicataires/attributaires
Adjudicataire/attributaire:
Nom officiel: TOKYO ÉLECTRON EUROPE LIMITED
Offre:
Identifiant de l’offre: PN-B24-04592-ST
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Valeur de l'offre: 1,00 EUR
L’offre a été classée: oui
Rang de classement du candidat/lauréat: 1
L’offre est une variante: non
Part sous-traitée: Pas encore connu
Informations relatives au marché:
Identifiant du contrat: PN-B24-04592-ST
Titre: Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
Date de conclusion du marché/concession: 11/01/2026
Information sur les fonds de l'Union européenne:
Identifiant des fonds de l’UE: Ligne Pilote FAMES
Organisation qui signe le contrat: CEA/GRENOBLE
6.1.4.
Informations statistiques
Offres ou demandes de participation/candidatures reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 1
8. Organisations
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 17800053
Département: Isere
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville: GRENOBLE CEDEX
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
8.1.
ORG-0004
Nom officiel: CEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 775 685 019 00298
Département: Isere
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Syrga TURGANALIEVA
Téléphone: 0438783071
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui signe le contrat
Organisation dont le budget est utilisé pour payer le marché
Organisation qui exécute le paiement
8.1.
ORG-0005
Nom officiel: TOKYO ÉLECTRON EUROPE LIMITED
Taille de l’opérateur économique: Grande
Numéro d’enregistrement: TOKYO ÉLECTRON EUROPE LIMITED
Département: West Sussex
Adresse postale: Pioneer, Crawley Business Quarter, Fleming Way, Crawley, West Sussex, RH10 9QL, Royaume-Uni
Ville: Crawley
Code postal: RH10 9QL
Pays: Royaume-Uni
Point de contact: Jean-Luc PEYRE
Téléphone: 06 70 20 38 29
Rôles de cette organisation:
Soumissionnaire
adjudicataire/attributaire de ces lots: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis: 00a38616-d5a5-48cb-8df8-dcde457d0857 - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 19/01/2026 14:00:48 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 44123-2026
Numéro de publication au JO S: 14/2026
Date de publication: 21/01/2026
