1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA/GRENOBLE
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
Description: Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’une piste de lithographie 248 nm. Cet équipement vise à être utilisé pour traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux implant et BEOL. Cet équipement est destiné à étaler, développer et cuire des résines photosensibles et des couches associées automatiquement. Il sera interfacé à un scanner 248 nm et devra intégrer les modules nécessaires pour les procédés de lithographie optique, et plus particulièrement l’usage d’un scanner KrF, développés par le CEA-Leti. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Logiciel pour l’écriture des recettes hors-ligne (§3.3.1) - Options avec chiffrage facultatif : o OPT2 : Module d’étalement de bord de plaque (§3.1.1) o OPT3 : Module de mesure de déformation et de bow des plaques) (§3.1.1) o OPT4 : Formation à la Maintenance de 1er niveau (§9) o OPT5 : Formation à la Maintenance avancée (§9) o OPT6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (§3.2.6) o OPT7 : Transformateur électrique (§4.1.4) o OPT8 : Deuxième année de garantie (§11.1)
Identifiant de la procédure: 0eebefb9-29c7-4dda-bb3a-a0418adbe155
Identifiant interne: PN-B24-04592-ST
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Grenoble
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.3.
Valeur
Valeur estimée hors TVA: 1,00 EUR
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé PN-B24-04592-ST, qui est téléchargeable via le lien https://www.marches-publics.gouv.fr comme détaillé ci-dessous. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : PN-B24-04592-ST Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusion: Document de marché
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
Description: Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’une piste de lithographie 248 nm. Cet équipement vise à être utilisé pour traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux implant et BEOL. Cet équipement est destiné à étaler, développer et cuire des résines photosensibles et des couches associées automatiquement. Il sera interfacé à un scanner 248 nm et devra intégrer les modules nécessaires pour les procédés de lithographie optique, et plus particulièrement l’usage d’un scanner KrF, développés par le CEA-Leti. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Logiciel pour l’écriture des recettes hors-ligne (§3.3.1) - Options avec chiffrage facultatif : o OPT2 : Module d’étalement de bord de plaque (§3.1.1) o OPT3 : Module de mesure de déformation et de bow des plaques) (§3.1.1) o OPT4 : Formation à la Maintenance de 1er niveau (§9) o OPT5 : Formation à la Maintenance avancée (§9) o OPT6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (§3.2.6) o OPT7 : Transformateur électrique (§4.1.4) o OPT8 : Deuxième année de garantie (§11.1)
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée: La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES-PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélection: Document de marché
Critère:
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes:
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure: 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).
5.1.11.
Documents de marché
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de présentation:
Présentation par voie électronique: Requise
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées: français, anglais
Catalogue électronique: Non autorisée
Variantes: Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation: 05/12/2024 14:00:00 (UTC+1)
Conditions du marché:
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés: Non
Facturation en ligne: Autorisée
La commande en ligne sera utilisée: non
Le paiement en ligne sera utilisé: non
Informations relatives aux délais de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre: Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique: Pas de système d’acquisition dynamique
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché: CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui reçoit les demandes de participation: CEA/GRENOBLE
Organisation qui traite les offres: CEA/GRENOBLE
TED eSender: Publications Office of the European Union
8. Organisations
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 17800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville: GRENOBLE CEDEX
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0004
Nom officiel: CEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 775 685 019 00298
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Syrga TURGANALIEVA
Téléphone: 0438783071
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui reçoit les demandes de participation
Organisation qui traite les offres
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
11. Informations relatives à l’avis
11.1.
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis: 9fd412ed-efe6-42b1-9fbe-528c273aa6aa - 01
Type de formulaire: Mise en concurrence
Type d’avis: Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 16
Date d’envoi de l’avis: 05/11/2024 16:05:42 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
11.2.
Informations relatives à la publication
Numéro de publication de l’avis: 679808-2024
Numéro de publication au JO S: 217/2024
Date de publication: 07/11/2024
