1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Description: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal. L'option obligatoire: - Option n°1: Formation maintenance niveau 1 Les options facultatives : -Option n°2: Chiller -Option n°3: Pompe -Option n°4: Transformateur électrique -Option n°5: Formation maintenance avancée -Option n°6: Extension de garantie 1 an supplémentaire
Identifiant de la procédure: bd04b75b-379d-4845-8ef9-e8ac0a202975
Identifiant interne: B25-04834-LR
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Grenoble
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; - en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusion: Document de marché
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Description: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal. L'option à chiffrage obligatoire: -Option n°1: Formation maintenance niveau 1 Les options à chiffrage facultatif : -Option n°2 : Chiller -Option n°3 : Pompe -Option n°4 : Transformateur électrique -Option n°5 : Formation Maintenance Avancée -Option n°6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire
Identifiant interne: B25-04834-LR
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée:
La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélection: Document de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes:
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure: 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11.
Documents de marché
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de présentation:
Présentation par voie électronique: Requise
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées: français, anglais
Catalogue électronique: Non autorisée
Variantes: Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation: 20/01/2026 12:00:00 (UTC+01:00) Heure de l'Europe centrale, heure d'été de l'Europe occidentale
Conditions du marché:
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés: Non
Facturation en ligne: Non autorisée
La commande en ligne sera utilisée: non
Le paiement en ligne sera utilisé: non
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours: Tribunal administratif
Informations relatives aux délais de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Tribunal administratif
Organisation qui reçoit les demandes de participation: CEA Grenoble
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement: 77568501900298
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Mme. Laure REYNAUD
Téléphone: 06 75 02 30 11
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui reçoit les demandes de participation
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: Tribunal administratif
Numéro d’enregistrement: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 0476429000
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
10. Modification
Identifiant/version de l’avis: c4f74941-44ac-42d4-b985-373f5bee4859 - 01
Type de formulaire: Mise en concurrence
Type d’avis: Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 16
Date d’envoi de l’avis: 18/12/2025 09:25:53 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 848522-2025
Numéro de publication au JO S: 245/2025
Date de publication: 19/12/2025
