A proximité de Grenoble 38054 Isere
Acheteur : CEA Grenoble
17 Rue des Martyrs
38054 GRENOBLE CEDEX 9
Tel : 06 31 73 90 07
  Reste 22 jours - Date de clôture estimée : 31/07/2026  
Secteurs d'activité
Machines et appareils microélectroniques.

Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Type d'avis : Avis de marché
Type de marché : Européen
Date de publication : 01/07/2026
JOUE - 452081-2026
452081-2026 - Mise en concurrence
France – Machines et appareils microélectroniques – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
OJ S 124/2026 01/07/2026
Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Fournitures
1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officielCEA Grenoble
Adresse électroniqueclaire.moreau-flachat@cea.fr
Forme juridique de l’acheteurOrganisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateurEnseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
TitreFourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
DescriptionPour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement dédié au remplissage métallique de vias à basse température, pour des applications mémoire, pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable d’utiliser des wafers de 300mm et est prévu pour la déposition de film fin de tungstène à haute conformité dans des via avec un facteur de forme élevé. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : - Option avec chiffrage obligatoire : . Option 3 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance niveau 1 - Options avec chiffrage facultative : . Option 1 (fourniture optionnelle) : Échangeurs de chaleurs / refroidisseurs . Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur d’alimentation électrique . Option 4 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance avancée . Option 5 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an
Identifiant de la procédure88716000-8f92-4268-b0b8-816fd55f5396
Identifiant interneB26-02145-CMF
Type de procédureNégociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accéléréenon
2.1.1.
Objet
Nature principale du marchéFournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
VilleGrenoble
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Informations complémentairesCEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentairesLe candidat fournira notamment à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; - en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Les autres documents et informations à fournir au titre du dossier de candidature sont précisés dans le dossier de consultation (cf. article 4.1 du règlement de consultation).
Base juridique
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusionDocument de marché
5. Lot
5.1.
LotLOT-0001
TitreFourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
DescriptionPour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement dédié au remplissage métallique de vias à basse température, pour des applications mémoire, pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable d’utiliser des wafers de 300mm et est prévu pour la déposition de film fin de tungstène à haute conformité dans des via avec un facteur de forme élevé. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : - Option avec chiffrage obligatoire : . Option 3 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance niveau 1. - Options avec chiffrage facultatif : . Option 1 (fourniture optionnelle) : Échangeurs de chaleurs / refroidisseurs. . Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur d’alimentation électrique. . Option 4 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges. . Option 5 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an.
Identifiant interneB26-02145-CMF
5.1.1.
Objet
Nature principale du marchéFournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
5.1.3.
Durée estimée
Durée12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée
La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UEFAMES - PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP)oui
Informations complémentairesLes entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélectionDocument de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes
Nombre minimal de candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains candidats peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère
TypePrix
DescriptionLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critèresLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11.
Documents de marché
Adresse des documents de marchéhttps://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de soumission
Soumission par voie électroniqueRequise
Adresse de soumissionhttps://www.marchespublics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation/candidatures peuvent être présentéesanglaisfrançais
Catalogue électroniqueNon autorisée
VariantesAutorisée
Date limite de réception des demandes de participation/candidatures31/07/2026 14:00:00 (UTC+02:00) Heure de l'Europe orientale, heure d'été de l'Europe centrale
Conditions du marché
Le contrat doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégésNon
Facturation électroniqueAutorisée
La commande en ligne sera utiliséenon
Le paiement électronique sera utilisénon
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique
Pas de système d’acquisition dynamique
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recoursTribunal administratif
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recoursTribunal administratif
Organisation qui reçoit les demandes de participation/candidaturesCEA Grenoble
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officielCEA Grenoble
Numéro d’enregistrement77568501900298
Adresse postale17 rue des Martyrs
VilleGrenoble
Code postal38054
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Point de contactMme. Claire MOREAU-FLACHAT
Adresse électroniqueclaire.moreau-flachat@cea.fr
Téléphone06 70 81 77 91
Adresse internetwww.cea.fr
Adresse URL pour l'échange d'informationshttps://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise
Profil de l’acheteurhttps://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation
Acheteur
Organisation qui reçoit les demandes de participation/candidatures
8.1.
ORG-0002
Nom officielTribunal administratif
Numéro d’enregistrement173800053
Adresse postale2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
VilleGrenoble Cedex
Code postal38022
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Adresse électroniquegreffe.tagrenoble@juradm.fr
Téléphone0476429000
Rôles de cette organisation
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0000
Nom officielPublications Office of the European Union
Numéro d’enregistrementPUBL
VilleLuxembourg
Code postal2417
Subdivision pays (NUTS)Luxembourg (LU000)
PaysLuxembourg
Adresse électroniqueted@publications.europa.eu
Téléphone+352 29291
Adresse internethttps://op.europa.eu
Rôles de cette organisation
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avisd9489778-6abd-4f6f-9de3-123d8ac2bbb9  -  01
Type de formulaireMise en concurrence
Type d’avisAvis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis16
Date d’envoi de l’avis30/06/2026 07:49:08 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponiblefrançais
Numéro de publication de l’avis452081-2026
Numéro de publication au JO S124/2026
Date de publication01/07/2026