1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique
Description: Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être équipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ. Le présent marché comporte l'option obligatoire suivante : - Option n°1 : Prolongation de la garantie d’une année supplémentaire. Le présent marché les options facultatives suivantes : - Option n°2 : Fourniture d’un capteur de résidus (§3.1 du cahier des charges), - Option n°3 : Fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur (§3.2.6 du cahier des charges), - Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique (§4.1.3 du cahier des charges), - Option n°5 : Formation de maintenance 1er niveau (§9 du cahier des charges), - Option n°6 : Formation de maintenance avancée (§9 du cahier des charges), - Option n°7 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Identifiant de la procédure: 5df1aa64-7582-4790-b2c3-b7fefabd1f45
Identifiant interne: PN-B26-01497-CGo
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Grenoble
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.4.
Informations générales
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusion: Document de marché
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique
Description: Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être équipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ. Le présent marché comporte l'option obligatoire suivante : - Option n°1 : Prolongation de la garantie d’une année supplémentaire. Le présent marché les options facultatives suivantes : - Option n°2 : Fourniture d’un capteur de résidus (§3.1 du cahier des charges), - Option n°3 : Fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur (§3.2.6 du cahier des charges), - Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique (§4.1.3 du cahier des charges), - Option n°5 : Formation de maintenance 1er niveau (§9 du cahier des charges), - Option n°6 : Formation de maintenance avancée (§9 du cahier des charges), - Option n°7 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Identifiant interne: PN-B26-01497-CGo
5.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 15 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée:
La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne:
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES PILOTE LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélection: Document de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes:
Nombre minimal de candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure: 3
Nombre maximal de candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure: 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains candidats peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11.
Documents de marché
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de soumission:
Soumission par voie électronique: Requise
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation/candidatures peuvent être présentées: français
Catalogue électronique: Non autorisée
Date limite de réception des demandes de participation/candidatures: 19/05/2026 16:00:00 (UTC+02:00) Heure de l'Europe orientale, heure d'été de l'Europe centrale
Conditions du marché:
Le contrat doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés: Non
Facturation électronique: Non autorisée
La commande en ligne sera utilisée: non
Le paiement électronique sera utilisé: non
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recours: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement: 77568501900298
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Mme Clara GOGORIAN
Téléphone: 0660395146
Rôles de cette organisation:
Acheteur
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Identifiant/version de l’avis: d5f29be7-4b5c-47c2-828c-174f8f1a7702 - 01
Type de formulaire: Mise en concurrence
Type d’avis: Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 16
Date d’envoi de l’avis: 17/04/2026 14:14:28 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 272106-2026
Numéro de publication au JO S: 77/2026
Date de publication: 21/04/2026
