1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA/GRENOBLE
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution
Description: Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour les mesures sur plaque produit. Les applications visées sont diverses : composants CMOS avancés, composants de puissances ou LED à base de matériaux III-V, dispositifs 3D, photovoltaïque, mémoires, composants RF, etc. L’équipement sera capable d’effectuer, de manière automatisé, des mesures rapides, fiables et précises de diffraction standard (XRD, couches polycristallines), des mesures de diffraction haute résolution (HRXRD et micro-HRXRD, couches monocristallines), et des mesures de réflectométrie X (XRR) sur couches minces. Les mesures seront effectuées en salle blanche (ISO 4) sur des plaquettes pour la microélectronique de diamètre 200 mm et 300 mm, comprenant des couches unitaires ou multicouches constituées d’une vaste diversité de matériaux, aussi bien en pleine plaque ou à motif après lithographie (mesure avec microfaisceau, avec reconnaissance de motif). L’équipement devra donc être capable de traiter des substrats différents – silicium, SOI, verre, saphir, SiC – sur des gammes d’épaisseur variées. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau; OPT2 : Formation à la Maintenance avancée; Et les options facultatives suivantes : OPT3 : Scan Diffusion transversale (ω), porosité (2θ) pour Module XRR; OPT4 : Scan Stress résiduel (2θ – χ loop) pour Module GIXRD ; OPT5 : Scan Inplane 2θ–φ pour Module IPXRD ; OPT6 : Scan cartographie 2D pour Module XRD ; OPT7 : Système de pompage ; OPT8 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement ; OPT9 : Deuxième année de garantie.
Identifiant de la procédure: 7a39b53b-7b98-485c-ba31-a11032344f65
Avis précédent: 479249-2024
Identifiant interne: PN-B24-02913-ST
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
2.1.4.
Informations générales
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d'un diffractomètre rayon X haute résolution
Description: Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour les mesures sur plaque produit. Les applications visées sont diverses : composants CMOS avancés, composants de puissances ou LED à base de matériaux III-V, dispositifs 3D, photovoltaïque, mémoires, composants RF, etc. L’équipement sera capable d’effectuer, de manière automatisé, des mesures rapides, fiables et précises de diffraction standard (XRD, couches polycristallines), des mesures de diffraction haute résolution (HRXRD et micro-HRXRD, couches monocristallines), et des mesures de réflectométrie X (XRR) sur couches minces. Les mesures seront effectuées en salle blanche (ISO 4) sur des plaquettes pour la microélectronique de diamètre 200 mm et 300 mm, comprenant des couches unitaires ou multicouches constituées d’une vaste diversité de matériaux, aussi bien en pleine plaque ou à motif après lithographie (mesure avec microfaisceau, avec reconnaissance de motif). L’équipement devra donc être capable de traiter des substrats différents – silicium, SOI, verre, saphir, SiC – sur des gammes d’épaisseur variées. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau; OPT2 : Formation à la Maintenance avancée; Et les options facultatives suivantes : OPT3 : Scan Diffusion transversale (ω), porosité (2θ) pour Module XRR; OPT4 : Scan Stress résiduel (2θ – χ loop) pour Module GIXRD ; OPT5 : Scan Inplane 2θ–φ pour Module IPXRD ; OPT6 : Scan cartographie 2D pour Module XRD ; OPT7 : Système de pompage ; OPT8 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement ; OPT9 : Deuxième année de garantie.
Identifiant interne: PN-B24-02913-ST
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Prix de l’équipement : 45%
Critère:
Type: Qualité
Description: Process spec’ (20 tests indiqués au §2 du CdC) : 25%
Critère:
Type: Qualité
Description: Equipment spec’ (§3.1 du CdC) : 30%
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Informations relatives aux délais de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché: CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui signe le marché: CEA/GRENOBLE
6. Résultats
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis: 1,00 EUR
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0001
Statut sélection lauréat: Au moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les lauréats
Lauréat:
Nom officiel: MILEXIA France SAS
Offre:
Identifiant de l’offre: B24-02913-ST
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Valeur de l'offre: 1,00 EUR
L’offre a été classée: oui
Place sur la liste des lauréats: 1
Valeur de la concession:
Sous-traitance: Pas encore connu
Informations relatives au marché:
Identifiant du marché: B24-02913-ST
Date de conclusion du marché: 13/05/2025
Organisation qui signe le marché: CEA/GRENOBLE
6.1.4.
Informations statistiques:
Offres ou demandes de participation reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues: 1
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: CEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 775 685 019 00298
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Syrga TURGANALIEVA
Téléphone: 0438783071
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui signe le marché
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 17800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville: GRENOBLE CEDEX
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: MILEXIA France SAS
Taille de l’opérateur économique: Moyenne
Numéro d’enregistrement: B 719 804 817
Adresse postale: Espace Technologique de Saint Aubin, Bâtiment Mercury, Route de l’Orme des Merisiers
Ville: Saint-Aubin
Code postal: 91190
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Franck SENEQUIER
Téléphone: 06 20 09 22 00
Rôles de cette organisation:
Soumissionnaire
Lauréat de ces lots: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis: 0af2ba65-9496-46d9-9b6b-f8c3c1854fa9 - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 21/05/2025 09:58:58 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 331646-2025
Numéro de publication au JO S: 98/2025
Date de publication: 22/05/2025
